Лаборатория пленочных и острийных структур - Научное оборудование

 

Кристаллизатор – установка для выращивания нитевидных кристаллов (вискеров) и плёнок полупроводников из газовой фазы. Разработана и изготовлена в ООО "ТопСкан".

 

Напылительная вакуумная установка модель JEOL-4X – для равномерного напыления металлов на подложки полупроводников большой площади. Процесс необходим для последующего выращивания вискеров.

 

Муфельная нагревательная печь модель SNOL30\1100 – для заострения вискеров методом высокотемпературного окисления. Заострение необходимо для создания из вискеров автоэмиссионных источников электронов, а также для создания зондов для атомно-силовой микроскопии.

 

Установка травления полупроводниковых пластин с функцией сушки модель KC-03\1C.

Установка жидкостной химической обработки пластин кремния модель KC-01M.

 

Установка лазерной резки модель YMS-50 – для резки полупроводниковых пластин до выращивания или с выращенными на них вискерами.

 

Растровый электронный микроскоп JSM-7401F с автоэмиссионным катодом (Центр коллективного пользования "Структурная диагностика материалов" ИК РАН).

Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200 3D FIB с ионной пушкой (Центр коллективного пользования "Структурная диагностика материалов" ИК РАН).

Просвечивающий электронный микроскоп высокого разрешения Tecnai G2 30 S-Twin (Центр коллективного пользования "Структурная диагностика материалов" ИК РАН).