Лаборатория роста тонких пленок и неорганических наноструктур - Основные научные достижения

 

Проведены комплексные исследования процессов формирования наноструктурированной поверхности кристаллов лейкосапфира и предложена методика получения рельефа поверхности кристаллов лейкосапфира с заданными параметрами.

Предложена методика формирования упорядоченного ансамбля частиц золота на подложках лейкосапфира.

Предложены методы получения тонких пленок оксида цинка высокого кристаллического совершенства на 2-х дюймовых подложках лейкосапфира, включающие в себя термическую обработку подложек, нанесение буферных слоев Au и AlN.

Исследованы процессы эпитаксиального роста пленок теллурида кадмия на рельефных подложках лейкосапфира при напылении под углом (20-50 градусов) к поверхности подложки.

Исследованы поверхностные процессы при молекулярно-лучевой эпитаксии пленок CdTe методом масс-спектрометрии in situ. Для измерения кинетических параметров использовались модулированные молекулярные пучки Cd и Te2.